一种实验室用蚀刻装置的制造方法

文档序号:11012868阅读:846来源:国知局
一种实验室用蚀刻装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种蚀刻装置,尤其涉及一种实验室用蚀刻装置。本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高反应速率、能够提高蚀刻质量的实验室用蚀刻装置。为了解决上述技术问题,本实用新型提供了这样一种实验室用蚀刻装置,包括有底板、左侧板、滑轨Ⅰ、支杆Ⅰ、支杆Ⅱ、支杆Ⅲ、滑轨Ⅱ、右侧板、固定板、蚀刻液箱、滑块Ⅰ、齿条Ⅰ、电机、皮带轮Ⅰ、齿轮Ⅰ、处理箱、滑块Ⅱ、齿条Ⅱ、皮带轮Ⅱ、齿轮Ⅱ、平皮带、流通箱Ⅰ、活塞Ⅰ、连杆Ⅰ、水泵、出水管、阀门Ⅰ、流通箱Ⅱ、活塞Ⅱ、连杆Ⅱ、流通管、阀门Ⅱ、进水管、阀门Ⅲ、单向阀Ⅰ和单向阀Ⅱ。本实用新型达到了反提高应速率、能够提高蚀刻质量的效果。
【专利说明】
一种实验室用蚀刻装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种蚀刻装置,尤其涉及一种实验室用蚀刻装置。
【背景技术】
[0002]通常所指蚀刻也称光化学蚀刻,指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。
[0003]现有的蚀刻装置存在反应速率慢、影响蚀刻质量的缺点,因此亟需研发一种反提高应速率、能够提高蚀刻质量的实验室用蚀刻装置。
【实用新型内容】
[0004](I)要解决的技术问题
[0005]本实用新型为了克服现有的蚀刻装置存在反应速率慢、影响蚀刻质量的缺点,本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够提高反应速率、能够提高蚀刻质量的实验室用蚀刻装置。
[0006](2)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题,本实用新型提供了这样一种实验室用蚀刻装置,包括有底板、左侧板、滑轨1、支杆1、支杆π、支杆m、滑轨π、右侧板、固定板、蚀刻液箱、滑块1、齿条1、电机、皮带轮1、齿轮1、处理箱、滑块π、齿条π、皮带轮π、齿轮π、平皮带、流通箱1、活塞1、连杆1、水栗、出水管、阀门1、流通箱Π、活塞Π、连杆Π、流通管、阀门Π、进水管、阀门m、单向阀I和单向阀π,底板上从左至右依次设有左侧板、滑轨1、支杆1、支杆π、支杆m、滑轨π和右侧板,左侧板与右侧板之间上部连接有固定板,固定板上安装有蚀刻液箱,滑轨I上设有滑块I,滑块I上设有齿条I,支杆I上设有电机,电机的后部设有皮带轮I,皮带轮I的后部安装有齿轮I,齿轮I与齿条I啮合,支杆π上安装有处理箱,滑轨Π上设有滑块Π,滑块π上设有齿条π,支杆m上设有皮带轮π,皮带轮π的后部设有齿轮π,齿轮π与齿条π啮合,皮带轮I与皮带轮π之间连接有平皮带,左侧板上中部安装有流通箱I,流通箱I内设有活塞I,活塞I的底端连接有连杆I,连杆I的底部与齿条I连接,处理箱内设有水栗,水栗与流通箱I之间连接有出水管,出水管上设有阀门I,右侧板左侧中部安装有流通箱π,流通箱Π内设有活塞Π,活塞Π的底端连接有连杆Π,连杆Π的底端与齿条Π连接,流通箱I与流通箱Π上部之间连接有流通管,流通管上设有阀门Π,流通管的右侧底端与处理箱之间连接有进水管,进水管位于阀门π的右侧,进水管上设有阀门m,流通箱I与蚀刻液箱之间连接有单向阀I,蚀刻液箱与流通箱Π之间连接有单向阀Π。
[0008]优选地,还包括有壳体和电热丝,蚀刻液箱的底部设有壳体,壳体内设有电热丝。
[0009]优选地,电机为伺服电机。
[0010]工作原理:流通箱I与蚀刻液箱内有蚀刻液,当要对铜板、锌版等进行蚀刻时,将铜板等放入蚀刻液箱内,启动电机顺时针转动,电机顺时针转动带动皮带轮I顺时针转动,皮带轮I顺时针转动带动齿轮I顺时针转动,齿轮I顺时针转动带动齿条I向上运动,齿条I向上运动带动活塞I向上运动,流通箱I内的蚀刻液通过单向阀I流入蚀刻液箱内,蚀刻液箱内的蚀刻液通过单向阀π流入流通箱Π,因为皮带轮I与皮带轮Π之间连接有平皮带,所以皮带轮I顺时针转动带动皮带轮π顺时针转动,皮带轮Π顺时针转动带动齿轮Π顺时针转动,齿轮π顺时针转动带动齿条Π向下运动,齿条Π向下运动带动活塞Π向下运动,当蚀刻液箱内的蚀刻液全部流入流通箱π后,启动电机逆时针转动,电机逆时针转动带动皮带轮I逆时针转动,皮带轮I逆时针转动带动齿轮I逆时针转动,齿轮I逆时针转动带动齿条I向下运动,从而使活塞I向下运动,因为皮带轮I与皮带轮Π之间连接有平皮带,所以皮带轮I逆时针转动带动皮带轮Π逆时针转动,皮带轮Π逆时针转动带动齿轮Π逆时针转动,齿轮Π逆时针转动带动齿条π向上运动,齿轮Π向上运动带动活塞Π向上运动,从而使流通箱Π内的蚀刻液流到流通箱π底部,打开阀门Π,流通箱Π内的蚀刻液通过流通管流回流通箱I内,重复以上操作,使蚀刻液在流通箱1、蚀刻液箱和流通箱π内来回流动。当蚀刻液箱内的蚀刻液由于多次蚀刻而造成蚀刻浓度低时,关闭阀门Π,将阀门m打开,流通箱π内的蚀刻液流入处理箱内,处理箱内有能增加蚀刻液离子的浓度,使蚀刻液的浓度更浓,控制气栗工作,打开阀门I,将浓度加强过的蚀刻液通过出水管重新流入流通箱I。
[0011 ]因为还包括有壳体和电热丝,蚀刻液箱的底部设有壳体,壳体内设有电热丝,当蚀刻液的温度降低时,控制电热丝加热,能更好的控制蚀刻液的温度。
[0012]因为电机为伺服电机,能更好的控制其转速。
[0013](3)有益效果
[0014]本实用新型达到了反提高应速率、能够提高蚀刻质量的效果。
【附图说明】

[0015]图1为本实用新型的第一种主视结构示意图。
[0016]图2为本实用新型的第二种主视结构示意图。
[0017]附图中的标记为:1-底板,2-左侧板,3-滑轨I,4-支杆I,5_支杆Π,6_支杆ΙΠ,7_滑轨Π,8-右侧板,9-固定板,10-蚀刻液箱,11-滑块I,12-齿条I,13-电机,14-皮带轮I,15-齿轮I,16-处理箱,17-滑块Π,18-齿条Π,19-皮带轮Π,20_齿轮Π,21-平皮带,22-流通箱I,
23-活塞I,24-连杆I,25-水栗,26-出水管,27-阀门I,28_流通箱Π,29_活塞Π,30_连杆Π,31_流通管,32-阀门Π,33-进水管,34-阀门ΙΠ,35-单向阀I,36-单向阀Π,37-壳体,38-电热丝。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。
[0019]实施例1
[0020]—种实验室用蚀刻装置,如图1-2所示,包括有底板1、左侧板2、滑轨13、支杆14、支杆Π 5、支杆ΙΠ 6、滑轨Π 7、右侧板8、固定板9、蚀刻液箱1、滑块111、齿条112、电机13、皮带轮114、齿轮115、处理箱16、滑块Π 17、齿条Π 18、皮带轮Π 19、齿轮Π20、平皮带21、流通箱I22、活塞123、连杆124、水栗25、出水管26、阀门127、流通箱Π 28、活塞Π 29、连杆Π 30、流通管31、阀门Π 32、进水管33、阀门ΙΠ34、单向阀135和单向阀Π 36,底板I上从左至右依次设有左侧板2、滑轨13、支杆14、支杆Π 5、支杆ΙΠ6、滑轨Π 7和右侧板8,左侧板2与右侧板8之间上部连接有固定板9,固定板9上安装有蚀刻液箱10,滑轨13上设有滑块111,滑块111上设有齿条112,支杆14上设有电机13,电机13的后部设有皮带轮114,皮带轮114的后部安装有齿轮I15,齿轮115与齿条112啮合,支杆Π 5上安装有处理箱16,滑轨Π 7上设有滑块Π 17,滑块Π17上设有齿条Π 18,支杆ΙΠ6上设有皮带轮Π 19,皮带轮Π 19的后部设有齿轮Π 20,齿轮Π20与齿条Π 18啮合,皮带轮114与皮带轮Π 19之间连接有平皮带21,左侧板2上中部安装有流通箱122,流通箱122内设有活塞123,活塞123的底端连接有连杆124,连杆124的底部与齿条112连接,处理箱16内设有水栗25,水栗25与流通箱122之间连接有出水管26,出水管26上设有阀门127,右侧板8左侧中部安装有流通箱Π 28,流通箱Π 28内设有活塞Π 29,活塞Π 29的底端连接有连杆Π 30,连杆Π 30的底端与齿条Π 18连接,流通箱122与流通箱Π 28上部之间连接有流通管31,流通管31上设有阀门Π 32,流通管31的右侧底端与处理箱16之间连接有进水管33,进水管33位于阀门Π 32的右侧,进水管33上设有阀门ΙΠ34,流通箱122与蚀刻液箱1之间连接有单向阀135,蚀刻液箱1与流通箱Π 28之间连接有单向阀Π 36。
[0021]还包括有壳体37和电热丝38,蚀刻液箱10的底部设有壳体37,壳体37内设有电热丝38。
[0022]电机13为伺服电机13。
[0023]工作原理:流通箱122与蚀刻液箱10内有蚀刻液,当要对铜板、锌版等进行蚀刻时,将铜板等放入蚀刻液箱10内,启动电机13顺时针转动,电机13顺时针转动带动皮带轮114顺时针转动,皮带轮114顺时针转动带动齿轮115顺时针转动,齿轮115顺时针转动带动齿条I12向上运动,齿条112向上运动带动活塞123向上运动,流通箱122内的蚀刻液通过单向阀I35流入蚀刻液箱10内,蚀刻液箱10内的蚀刻液通过单向阀Π 36流入流通箱Π 28,因为皮带轮114与皮带轮Π 19之间连接有平皮带21,所以皮带轮114顺时针转动带动皮带轮Π 19顺时针转动,皮带轮Π 19顺时针转动带动齿轮Π 20顺时针转动,齿轮Π 20顺时针转动带动齿条Π 18向下运动,齿条Π 18向下运动带动活塞Π 29向下运动,当蚀刻液箱1内的蚀刻液全部流入流通箱Π 28后,启动电机13逆时针转动,电机13逆时针转动带动皮带轮114逆时针转动,皮带轮114逆时针转动带动齿轮115逆时针转动,齿轮115逆时针转动带动齿条112向下运动,从而使活塞123向下运动,因为皮带轮114与皮带轮Π 19之间连接有平皮带21,所以皮带轮114逆时针转动带动皮带轮Π 19逆时针转动,皮带轮Π 19逆时针转动带动齿轮Π 20逆时针转动,齿轮Π 20逆时针转动带动齿条Π 18向上运动,齿轮Π 20向上运动带动活塞Π 29向上运动,从而使流通箱Π 28内的蚀刻液流到流通箱Π 28底部,打开阀门Π 32,流通箱Π 28内的蚀刻液通过流通管31流回流通箱122内,重复以上操作,使蚀刻液在流通箱122、蚀刻液箱10和流通箱Π 28内来回流动。当蚀刻液箱10内的蚀刻液由于多次蚀刻而造成蚀刻浓度低时,关闭阀门Π 32,将阀门ΙΠ34打开,流通箱Π 28内的蚀刻液流入处理箱16内,处理箱16内有能增加蚀刻液离子的浓度,使蚀刻液的浓度更浓,控制气栗工作,打开阀门127,将浓度加强过的蚀刻液通过出水管26重新流入流通箱122。
[0024]因为还包括有壳体37和电热丝38,蚀刻液箱10的底部设有壳体37,壳体37内设有电热丝38,当蚀刻液的温度降低时,控制电热丝38加热,能更好的控制蚀刻液的温度。
[0025]因为电机13为伺服电机13,能更好的控制其转速。
[0026]以上所述实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形、改进及替代,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种实验室用蚀刻装置,其特征在于,包括有底板(I)、左侧板(2)、滑轨1(3)、支杆I(4)、支杆Π(5)、支杆ΙΠ(6)、滑轨Π (7)、右侧板(8)、固定板(9)、蚀刻液箱(10)、滑块1(11)、齿条1(12)、电机(13)、皮带轮1(14)、齿轮1(15)、处理箱(16)、滑块Π (17)、齿条Π (18)、皮带轮Π (19)、齿轮Π (20)、平皮带(21)、流通箱I (22)、活塞I (23)、连杆1(24)、水栗(25)、出水管(26)、阀门1(27)、流通箱Π (28)、活塞Π (29)、连杆Π (30)、流通管(31)、阀门Π (32)、进水管(33)、阀门ΙΠ (34)、单向阀I (35)和单向阀Π (36),底板(I)上从左至右依次设有左侧板(2)、滑轨1(3)、支杆1(4)、支杆Π (5)、支杆ΙΠ(6)、滑轨Π (7)和右侧板(8),左侧板(2)与右侧板(8)之间上部连接有固定板(9),固定板(9)上安装有蚀刻液箱(10),滑轨1(3)上设有滑块1(11),滑块I(Il)上设有齿条1(12),支杆1(4)上设有电机(13),电机(13)的后部设有皮带轮1(14),皮带轮1(14)的后部安装有齿轮1(15),齿轮1(15)与齿条1(12)啮合,支杆Π(5)上安装有处理箱(16),滑轨Π(7)上设有滑块Π (17),滑块Π (17)上设有齿条Π (18),支杆ΙΠ(6)上设有皮带轮Π (19),皮带轮Π (19)的后部设有齿轮Π (20),齿轮Π (20)与齿条Π(18)啮合,皮带轮I(14)与皮带轮Π (19)之间连接有平皮带(21),左侧板(2)上中部安装有流通箱1(22),流通箱I (22)内设有活塞I (23),活塞I (23)的底端连接有连杆I (24),连杆I(24)的底部与齿条I (12)连接,处理箱(16)内设有水栗(25),水栗(25)与流通箱I (22)之间连接有出水管(26),出水管(26)上设有阀门I (27),右侧板(8)左侧中部安装有流通箱Π(28),流通箱Π (28)内设有活塞Π (29),活塞Π (29)的底端连接有连杆Π (30),连杆Π (30)的底端与齿条Π (18)连接,流通箱I (22)与流通箱Π (28)上部之间连接有流通管(31),流通管(31)上设有阀门Π (32),流通管(31)的右侧底端与处理箱(16)之间连接有进水管(33),进水管(33)位于阀门Π (32)的右侧,进水管(33)上设有阀门ΙΠ (34),流通箱1(22)与蚀刻液箱(1)之间连接有单向阀I (35),蚀刻液箱(1)与流通箱Π (28)之间连接有单向阀Π (36)。2.根据权利要求1所述的一种实验室用蚀刻装置,其特征在于,还包括有壳体(37)和电热丝(38),蚀刻液箱(10)的底部设有壳体(37),壳体(37)内设有电热丝(38)。3.根据权利要求1所述的一种实验室用蚀刻装置,其特征在于,电机(13)为伺服电机(13)。
【文档编号】H01L21/67GK205710922SQ201620573569
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年6月13日
【发明人】张本汉
【申请人】信丰正天伟电子科技有限公司
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